[发明专利]一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置有效
申请号: | 201610590318.9 | 申请日: | 2016-07-25 |
公开(公告)号: | CN106148892B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 吴建鹏;兰兰;杨忠英;梁逸南;嵇凤丽 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置,用以解决现有技术中存在的采用现有张网方案而导致子掩膜版出现褶皱的问题。本实施例中,张网机夹持位于待张网的子掩膜版的四个边角处的夹持区域,且在该子掩膜版所在平面以预设拉力沿与该子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸该子掩膜版,从而,保证子掩膜版的短边延伸方向也具有分力,使得子掩膜版不仅在该子掩膜版的长边延伸方向被拉伸,还在该子掩膜版的短边延伸方向被拉伸,进而,减小子掩膜版的褶皱现象,提升子掩膜版的平坦度,且易实现。 | ||
搜索关键词: | 种子 掩膜版 方法 基板 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种子掩膜版的张网方法,其特征在于,所述方法包括:张网机夹持位于待张网的子掩膜版四个边角处的夹持区域,并在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,在拉伸过程中,所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力逐渐减小;在所述子掩膜版的平坦度达到预设准值时,将所述子掩膜版固定到所述掩膜版框架上,所述张网机停止拉伸。
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