[发明专利]纳米粒子-聚合物抗蚀剂有效
| 申请号： | 201610587085.7 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106406026B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | J·W·萨克莱;M·西奥沃;P·特雷福纳斯三世;I·布莱基;A·K·惠特克 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;昆士兰大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;C08F220/14;C08F220/38 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种复合材料，其是包含以下各者的掺和物：包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子；和聚合物，其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体，其中所述配体是被取代或未被取代的C | ||
| 搜索关键词： | 纳米 粒子 聚合物 抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种复合材料，其是包含以下各者的掺合物：/n包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子；和/n聚合物，/n其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体，其中所述配体是被取代或未被取代的C
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