[发明专利]SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置有效
申请号: | 201610585587.6 | 申请日: | 2016-07-22 |
公开(公告)号: | CN106294126B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 孙天拓;戴树刚;胡荣 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G06F11/36 | 分类号: | G06F11/36 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法,该方法包括:接收用户的选择操作,选择目标机台服务器;于接收到用户的选择操作后,根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式;采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数,生成待检查参数报表;对程式及待检查参数进行正确性检查,输出检查结果,本发明可以自动对SEN机台程式进行正确性检查,不仅节省人工检查时的人力,而且更能保证100%检出程式错误,避免程式错误造成的损失。 | ||
搜索关键词: | sen 离子 注入 机台 自动化 程式 正确性 管理 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置,包括:接收单元,用于接收用户的选择操作,以选择目标机台服务器;请求下载单元,以于该接收单元接收到用户的选择操作后,根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式;待检查参数收集单元,采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数,生成待检查参数报表,其中,导弹攻击方法包括:定义待收集参数名数组和待收集参数数组;逐行遍历待检查程式,判断当前行的参数名是否位于待收集参数名数组中;若是,则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置;反之,则转到程式下一行;程式正确性检查单元,对程式及待检查参数进行正确性检查,输出检查结果。
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