[发明专利]一种米级尺度多光轴平行检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201610569127.4 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106197950B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 曹庭分;陈海平;熊召;袁晓东;刘长春;叶海仙;易聪之;罗欢;全旭松;魏春蓉;周海;王晓红;郑万国 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种米级尺度多光轴平行检测装置及检测方法，其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接，本发明装置满足多光轴平行性检测需求，采用该检测方法进行多光轴平行性检测，检测区域可达数米见方，检测过程实现自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 光轴 平行 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种米级尺度多光轴平行检测装置，其特征在于：其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接；第一校准部发出的光轴一垂直于第二校准部发出的光轴二，第二校准部发出的光轴二垂直于第三校准部发出的光轴三；所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上；所述第二校准部包括第一楔镜、自准直仪二和第一并联微动机构，所述第一楔镜、自准直仪二、第一并联微动机构固定连接；所述第三校准部包括第二楔镜、自准直仪三、第二并联微动机构，所述第二楔镜、自准直仪三、第二并联微动机构固定连接；还包括第四校准部、第五校准部、第六校准部和第二平移机构，所述第四校准部设置有自准直仪四和第二支撑平台，所述自准直仪四安装在所述第二支撑平台上，所述第五校准部和第六校准部安装在所述第二平移机构上。
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