[发明专利]真空镀膜机工件托架在审

专利信息
申请号: 201610567678.7 申请日: 2016-07-19
公开(公告)号: CN106048551A 公开(公告)日: 2016-10-26
发明(设计)人: 吴洁;齐艳宾;张凤赐 申请(专利权)人: 沈阳大学
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 沈阳火炬专利事务所(普通合伙) 21228 代理人: 李福义
地址: 110044 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种真空镀膜机工件托架,主要适用于圆柱体、圆锥体、半球体或半球壳体等工件的全表面真空镀膜。本发明采用三个工件固定支架与三个工件换位支架交替轮换支承工件的方式,这样不仅使被镀膜工件的支承面积小、支承稳定,且在换位时,无需对被镀工件进行二次定位,确保了被镀膜工件的外表面一次就能完成全表面真空镀膜,这样既提高了镀膜质量、合格率和工作效率;又改善了操作人员的工作条件,避免了由于二次定位给操作人员带来的危险。
搜索关键词: 真空镀膜 机工 托架
【主权项】:
一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:包括固定基座(1)、回转电机(2)、升降电动机(3)、传动螺母(4)、升降底座(5)、从动齿轮支承轴(6)、支承轨道滚轮(7)、升降转盘支承轴(8)、工件固定支架(9)、工件(10)、工件换位支架(11)、升降转盘(12)、从动齿轮(13)、主动齿轮(14)、深沟球轴承(15)、紧定螺钉(16)、真空镀膜室(17)和密封垫圈(18);所述固定基座(1)、升降底座(5)、从动齿轮(13)以及升降转盘(12)自下而上垂直分布且共用同一个轴心,通过升降电动机(3)输出轴螺旋连接;回转电动机(2)装于固定基座(1)的一侧,回转电机(2)输出轴自下而上连接于主动齿轮(14)的轴孔,且通过紧定螺钉(16)固定,主动齿轮(14)水平咬合于从动齿轮(13);所述从动齿轮支承轴(6)下端穿过固定基座(1)上的通孔,上端设有深沟球轴承(15)和支承轨道滚轮(7)与从动齿轮(13)相铰接;所述升降转盘支承轴(8)穿过从动齿轮(13)环形体内孔,下端穿过升降底座(5)上的通孔,上端设有深沟球轴承(15)和支承轨道滚轮(7)与升降转盘(12)相铰接;所述的工件固定支架(9)穿过升降转盘(12)环形体内孔竖直安装,其下端穿过从动齿轮(13)上的通孔;所述的工件换位支架(11)下端穿过升降转盘(12)上的通孔竖直安装。
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