[发明专利]一种全闭环温度控制炉及其温度控制方法

摘要

本发明公开一种全闭环温度控制炉，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，上炉胆和下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，上炉胆内还设有用于感应控制上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件。本发明结构简单、可以确保每个烧结的温区温度差平衡，控制在一定的温度范围内进行烧结。

主权项

1.一种全闭环温度控制炉，其特征在于，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，所述上炉胆和所述下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在所述硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，所述上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，所述上炉胆内还设有用于感应控制所述上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，所述下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，所述下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件;所述上炉胆温区的温度与所述下炉胆温区之间形成一个平衡稳定的温度差；所述上炉胆温区的温度与所述下炉胆温区之间形成的温度差为小于300℃；所述上加热装置包括至少一根横向安装在所述上炉胆温区的上发热管，所述上发热管的电源连接线上设置有用于监控上发热管工作状态的上监控显示器，所述上监控显示器不能显示亮光时，所述上发热管损坏，可从所述上炉胆温区的位置取下更换；所述上降温装置包括至少一根连通与所述上炉胆温区的上吹风管道，所述上吹风管道的进气口伸出所述上炉胆外；所述上炉胆温区内设有一呈U形的上透气棉罩，所述上炉胆温区的内侧壁设有上实心保温棉，所述上吹风管道出风口伸入所述上透气棉罩内，所述上吹风管道输送冷却风时，由冷却风充满保温棉与透气棉之间的密闭空间，并形成一个密闭风腔，由于透气棉是平面结构，因此冷却风在风腔压力下透过透气棉后，会在炉胆内成为具有流向的平面冷却风流，从而能对炉腔平衡降温。