[发明专利]一种三级罗茨-水环智能变频控制真空系统及其控制方法有效

专利信息
申请号: 201610542660.1 申请日: 2016-07-12
公开(公告)号: CN106014997B 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 潇然;荣易;吴彬 申请(专利权)人: 上海伊莱茨真空技术有限公司
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C23/00;F04C28/02
代理公司: 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 代理人: 李浩东
地址: 201709 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种三级罗茨‑水环智能变频控制真空系统,包括第一级大压差罗茨机械真空泵、第二级大压差罗茨机械真空泵、以及牵引液环泵,所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵都配备了变频电机、变频器和排气口冷凝器,所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵的入口端设置压力变送器,所述压力变送器和变频器均与控制柜连接,通过每一级的压力变送器给出的压力反馈值,利用变频器对罗茨机械真空泵的转速进行分别调速,并利用旁通管道进行调节压力差值。本发明利用变频器对罗茨机械真空泵的转速进行分别调速,并利用旁通管道进行调节压力差值,使得第一级罗茨机械真空泵、第二级罗茨机械真空泵的压差均衡和安全运行。
搜索关键词: 罗茨 机械真空泵 变频器 第一级 压力变送器 压差 智能变频控制 旁通管道 真空系统 调速 水环 安全运行 变频电机 压力反馈 控制柜 冷凝器 每一级 排气口 牵引液 入口端 均衡 配备
【主权项】:
1.一种三级罗茨‑水环智能变频控制真空系统,包括第一级大压差罗茨机械真空泵、第二级大压差罗茨机械真空泵、以及牵引液环泵,其特征在于所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵都配备了变频电机、变频器和排气口冷凝器,所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵的入口端设置压力变送器,所述压力变送器和变频器均与控制柜连接,通过每一级的压力变送器给出的压力反馈值,利用变频器对罗茨机械真空泵的转速进行分别调速,并利用旁通管道进行调节压力差值;所述牵引液环泵采用双级液环泵;每一级罗茨机械真空泵排气腔均设置有温度变送器,所述温度变送器与控制柜连接;每一级罗茨机械真空泵的排气腔设置有螺旋式翅片盘管排气口冷却装置,每一级罗茨机械真空泵的排气口设置有排气口高效换热器;所述双级液环泵的进气口与第二级罗茨机械真空泵排气口冷却器连接,所述双级液环泵的出气口与气水分离器连接,所述气水分离器的顶部设置排放口,所述气水分离器通过循环液换热器回流至双级液环泵。
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