[发明专利]复合结构的差动电容传感器定极板及其制作方法在审
| 申请号： | 201610537282.8 | 申请日： | 2016-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105987659A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 张黎;李树德;张道忠;蔡庆福;吴涛;张慧华 | 申请（专利权）人： | 武汉地震科学仪器研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所 42001 | 代理人： | 黄瑞棠 |
| 地址： | 437100 湖北省咸*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合结构的差动电容传感器定极板及其制作方法，涉及一种差动电容传感器的极板结构。定极板由基板（1）、电容镀层（2）、屏蔽镀层（3）和导电斜面（4）组成；在基板（1）的正面设置有电容镀层（2），在基板（1）的背面设置有屏蔽镀层（3），在基板（1）和电容镀层（2）的左端面设置有导电斜面（4）。该复合结构使电容传感器结构简单，机械稳定性极好，在不同环境下能稳定地工作，适用于高精度电容位移传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 结构 差动 电容 传感器 极板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种复合结构的差动电容传感器定极板，其特征在于：由基板（1）、电容镀层（2）、屏蔽镀层（3）和导电斜面（4）组成；在基板（1）的正面设置有电容镀层（2），在基板（1）的背面设置有屏蔽镀层（3），在基板（1）和电容镀层（2）的左端面设置有导电斜面（4）。
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