[发明专利]一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构

摘要

本发明涉及近场光学探测的光学传感和成像技术领域，公开了一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构，包括：光学照明系统(1)、探针扫描控制系统(2)、检测系统(3)和光纤探针(4)，所述光纤探针(4)的端面设有金属膜及金属颗粒，所述金属颗粒加工在所述光纤探针(4)的端面的金属膜上。本发明提供的一种扫描近场光学显微镜装置及光纤探针结构，解决了传统孔径型SNOM对光场横向分量敏感而不能对光场纵向分量进行有效检测的缺陷，保持所测样品信息的完整性，提高了信号收集效率。

主权项

一种扫描近场光学显微镜装置，其特征在于，包括：光学照明系统(1)、探针扫描控制系统(2)、检测系统(3)和光纤探针(4)，其中，所述光学照明系统(1)包括：激发光源、第一分束器(5)、高数值孔径物镜(6)和扫描台(7)；探针扫描控制系统(2)包括：反馈系统(8)、锁相放大系统(9)、计算机(10)，所述反馈系统(8)用于控制连接的所述光纤探针(4)，所述锁相放大系统(9)用于连接所述检测系统(3)，所述计算机(10)控制连接所述反馈系统(8)；检测系统(3)包括：光谱分析仪(11)、光电倍增管(12)、第二分束器(13)、CCD(14)；所述第二分束器(13)连接所述的光谱分析仪(11)、光电倍增管(12)；所述的光谱分析仪(11)连接所述CCD(14)；所述的CCD(14)和光电倍增管(12)连接所述的计算机(10)，所述光纤探针(4)的端面设有金属膜及金属颗粒，所述金属颗粒加工在所述光纤探针(4)的端面的金属膜上。