[发明专利]基于双闭环控制的磁悬浮平台支承隔振控制结构及方法

摘要

本发明提供一种基于双闭环控制的磁悬浮平台支承隔振控制结构及方法，通过将控制平台悬浮支承的闭环与控制平台主动隔振的闭环通过“内外环”形式或“并联”形式结合起来，同时实现平台的稳定悬浮与高低频范围内主动隔振功能，使得磁悬浮平台在稳定悬浮状态下，还能减小磁悬浮作动器下方的基础件传递到悬浮件上的振动。由此可知：本发明通过设计控制方法简化了磁悬浮隔振平台结构，节约平台成本，充分利用了磁悬浮技术的优势，可以用于需要对宽频基础振动的传递进行抑制的适合磁悬浮技术的各种工作平台。

主权项

一种基于双闭环控制的磁悬浮平台支承隔振控制结构，其特征在于：包括基础件(4)、固定安装于基础件(4)上的磁悬浮作动器(3)、安装于基础件(4)或者磁悬浮作动器(3)上的位移传感器(5)、位于磁悬浮作动器(3)上的悬浮件(2)以及安装于悬浮件(2)上的加速度传感器(1)，所述磁悬浮作动器(3)与基础件(4)作相同的运动，通过控制磁悬浮作动器(3)的电磁力使悬浮件(2)悬浮起来且悬浮件(2)轴向与磁悬浮作动器(3)相间隔开，所述位移传感器(5)测量的位移信号即悬浮件(2)和基础件(4)或者磁悬浮作动器(3)之间的相对位移，所述加速度传感器(1)测量悬浮件(2)的绝对加速度。