[发明专利]一种刻蚀多层石墨烯的方法

摘要

本发明涉及一种刻蚀多层石墨烯的方法，包括如下步骤：1)配制铈盐的水溶液，浓度为0.1～0.3mol/L；2)于不断搅拌条件下，向溶液中加入无机碱溶液、多层石墨烯和分散剂，同时控制pH为9～10，从而在多层石墨烯的表面沉积铈的纳米颗粒，反应结束后继续搅拌1～2小时；3)将所得产品过滤，清洗，干燥；4)将所得产品于Ar/H₂氛围下退火，具体包括：匀速升温，保温温度在800～1100℃范围内，保温时间为1～3小时，自然冷却至室温，升温、保温、降温过程中保持Ar/H₂氛围不变，Ar/H₂的流量分别为100～500sccm和10～50sccm。

主权项

一种刻蚀多层石墨烯的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)配制铈盐的水溶液，浓度为0.1～0.3mol/L；2)于不断搅拌条件下，向步骤1)的溶液中加入无机碱溶液、多层石墨烯和分散剂，同时控制pH为9～10，从而在多层石墨烯的表面沉积铈的纳米颗粒，反应结束后继续搅拌1～2小时；3)将步骤2)所得产品过滤，清洗，干燥；4)将步骤3)所得产品于Ar/H₂氛围下退火，具体包括：匀速升温，保温温度在800～1100℃范围内，保温时间为1～3小时，自然冷却至室温，升温、保温、降温过程中保持Ar/H₂氛围不变，Ar/H₂的流量分别为100～500sccm和10～50sccm。