[发明专利]一种半导体器件γ射线辐射响应的实时在线测试系统

摘要

本发明公开了一种半导体器件γ射线辐射响应的实时在线测试系统，包括半导体器件γ射线测试探针台和提供偏压‑脉冲测试的测量模块，所述测试探针台上安装有内置放射源的铅容器、自动取片器、和四个可程控的探针臂，其中三个探针臂上分别安装有一支探针，另一个探针臂上安装有显微镜，三支探针分别与所述偏压‑脉冲测量模块连接。本发明对半导体器件进行高精度远程置片、扎针，之后通过可程控的提供偏压‑脉冲测试的测量模块对半导体器件辐射损伤进行在线测试，并可以在待测器件被辐射的同时施加偏压，快速保存测量数据。使用该系统置片、扎针、取片精准高效，提高了测试效率与测试精度，避免了传统辐射测量手段带来的辐射损伤退化。

主权项

1.一种半导体器件γ射线辐射响应的实时在线测试系统，包括半导体器件γ射线测试探针台（1）和提供偏压‑脉冲测试的测量模块（2），其特征在于：所述测试探针台（1）上安装有内置放射源（4）的铅容器（5）、自动取片器（9）、和四个可程控的探针臂（7），其中三个探针臂（7）上分别安装有一支探针（3），另一个探针臂（7）上安装有显微镜（10），三支探针（3）分别与所述偏压‑脉冲测量模块（2）连接；所述测量模块（2）在进行一次脉冲测试结束后，通过一个固态继电器对电路进行切换，给待测器件（11）施加偏压，使得由辐射作用在半导体栅氧上所产生的自由电子空穴对方向性的运动至栅氧‑衬底界面，被栅氧中存在的缺陷捕获，从而使得半导体器件产生辐射响应更准确的被表征出来；在对半导体器件施加偏压结束后，所述测量模块（2）再次通过固态继电器对电路进行切换，对待测器件（11）进行脉冲测试。