[发明专利]激光退火装置及方法

摘要

本发明提供了一种激光退火装置及方法，该退火装置包括：所述激光光源分系统，被所述主机控制，生成并输出激光；所述温度监测分系统，监测硅片表面所述激光照射位置处的温度，并反馈至所述主机；所述光学分系统，被所述主机控制，对所述激光光源分系统输出的激光进行整形和传输，得到光强均匀分布的光斑；所述空间光强调制分系统，被所述主机控制对所述光学分系统出射的激光进行调制，使入射至所述硅片表面处的光斑的光强分布与所述硅片表面的反射率相对应，从而使得所述硅片表面各光斑位置处所吸收能量相一致，且该能量能够依据所监测的温度确定；所述主机依据所述温度监测分系统的反馈控制所述激光光源分系统、光学分系统和空间光强调制分系统。

主权项

1.一种激光退火装置，其特征在于：包括主机、激光光源分系统、光学分系统、空间光强调制分系统以及温度监测分系统，其中：所述激光光源分系统，被所述主机控制，生成并输出激光；所述温度监测分系统，监测硅片表面所述激光照射位置处的温度，并反馈至所述主机；所述光学分系统，被所述主机控制，对所述激光光源分系统输出的激光进行整形和传输，得到光强均匀分布的光斑；所述空间光强调制分系统，被所述主机控制对所述光学分系统出射的激光进行调制，使入射至所述硅片表面处的光斑的光强分布与所述硅片表面的反射率相对应，从而使得所述硅片表面各光斑位置处所吸收能量相一致，且该能量能够依据所监测的温度确定；所述主机依据所述温度监测分系统的反馈控制所述激光光源分系统、光学分系统和空间光强调制分系统。