[发明专利]氧化铝陶瓷及其制备方法和等离子体刻蚀设备有效
| 申请号： | 201610512221.6 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105967665B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 伍尚华;谭毅成;林勇钊;向其军;蒋强国;朱祖云 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/111 | 分类号： | C04B35/111;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 生启 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铝陶瓷及其制备方法和等离子体刻蚀设备。该氧化铝陶瓷的制备方法包括如下步骤：将有机单体、交联剂和分散剂加水混合，并调节pH值至9～10，得到预配液；将纳米氧化铝粉、微米氧化铝粉和抑制晶粒长大剂加入到预配液中，经混合，得到固相的体积百分含量为45～55％、粘度低于1Pa·s的陶瓷浆料；在陶瓷浆料中加入催化剂和引发剂，经凝胶化，得到湿坯；将湿坯干燥，再经烧结，得到氧化铝陶瓷。上述氧化铝陶瓷的制备方法制备得到的氧化铝陶瓷具有较好的耐等离子体腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝陶瓷 及其 制备 方法 等离子体 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将有机单体、交联剂和分散剂加水混合，并调节pH值至9～10，得到预配液；将纳米氧化铝粉、微米氧化铝粉和抑制晶粒长大剂加入到所述预配液中，经混合，得到固相的体积百分含量为45～55％、粘度低于1Pa·s的陶瓷浆料，其中，所述纳米氧化铝粉的粒径为10～100纳米，所述微米氧化铝粉的粒径为0.2～0.6微米，且所述纳米氧化铝粉的质量与所述纳米氧化铝粉和所述微米氧化铝粉的质量之和的比为5:100～50:100；在所述陶瓷浆料中加入催化剂和引发剂，经凝胶化，得到湿坯；将所述湿坯干燥，再经烧结，得到氧化铝陶瓷；其中，所述抑制晶粒长大剂的质量与所述纳米氧化铝粉和所述微米氧化铝粉的质量之和的比为0.1:100～1:100；所述烧结的步骤为：以30～60℃/小时的升温速率升温至500～600℃保温1～2小时，再以100℃/小时的升温速率升温至1000～1100℃，接着以30～60℃/小时的升温速率升温至1400～1650℃保温1～5小时。
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