[发明专利]大口径离轴非球面镜精密磨削系统

摘要

本发明提供一种大口径离轴非球面镜的自动化精密磨削加工系统，可以根据加工工艺参数和非球面参数输入，自动计算并生成非球面磨削数控程序，并进行面形误差的在位补偿。大口径离轴非球面镜精密磨削系统，包括砂轮形状精度测量子系统、非球面初始磨削加工子系统、非球面面形在位检测子系统、非球面补偿磨削加工子系统。本发明实现非球面初始加工、面形在位检测、补偿加工的数控程序自动生成，并且自动计算与分析金刚石砂轮圆弧半径、圆弧度误差、中心误差等参数，与传统研磨加工相比，单件大口径离轴非球面元件整体加工效率提升8‑10倍，实现了大口径离轴非球面镜的高效自动化超精密磨削加工。

主权项

1.大口径离轴非球面镜精密磨削系统，其特征在于，包括砂轮形状精度测量子系统、非球面初始磨削加工子系统、非球面面形在位检测子系统和非球面补偿磨削加工子系统,所述砂轮形状精度测量子系统包括检测程序输出模块和检测数据分析模块，用于离轴非球面超精密磨削加工圆弧金刚石砂轮形状精度的测量与分析，读取位移传感器采集到的砂轮表面形貌数据，自动对数据进行圆弧拟合分析，得到圆弧半径、圆弧度误差、圆弧圆心偏差信息；所述非球面初始磨削加工子系统包括点阵计算仿真模块和加工程序输出模块，用于非球面初始磨削加工数控程序的自动化生成；所述非球面面形在位检测子系统包括检测程序输出模块和检测面形分析模块，用于非球面面形在位检测与分析，得到非球面表面三维面形误差数据；所述非球面补偿磨削加工子系统读取初始磨削加工的记录文件与面形误差数据后，将初始磨削的砂轮运动控制点阵坐标与面形误差数据叠加，得到补偿磨削加工砂轮运动控制点坐标，并将点阵离散化，并按照相应数控系统的格式，输出CNC程序代码，传输至超精密磨削机床，进行补偿磨削加工。