[发明专利]一种SIC高温高能离子注入机高能测量装置在审
| 申请号： | 201610499958.9 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106098522A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 金则军;孙雪平;袁卫华;彭立波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;H01L21/66 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种SIC高温高能离子注入机高能测量装置，包括位于离子注入机的离子源高压区与地电位区之间的采样电路，所述采样电路包括依次串联的多个分压电阻、第一电阻和电位器，所述第一电阻和电位器上的电压和作为测量电压，用于衡量离子注入机的输出高压是否符合标准。本发明的SIC高温高能离子注入机高能测量装置具有结构简单、操作简便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 高温 高能 离子 注入 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种SIC高温高能离子注入机高能测量装置，其特征在于，包括位于离子注入机的离子源高压区与地电位区之间的采样电路，所述采样电路包括依次串联的多个分压电阻（3）、第一电阻（5）和电位器（4），所述第一电阻（5）和电位器（4）上的电压和作为测量电压，用于衡量离子注入机的输出高压是否符合标准。
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