[发明专利]一种温湿度集成的无源无线传感器

摘要

本发明提供一种温湿度集成的无源无线传感器，包括温敏电感和湿敏电容构成的LC谐振回路；所述温敏电感为三明治结构，包括底层衬底、中部的电感模具和上层盖片；电感模具为螺旋形的凹槽，凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金，液态金属合金的体积小于凹槽的容积；凹槽内液态金属合金的上表面设有一层氧化物保形层，氧化物保形层的高度低于凹槽上表面的高度；所述湿敏电容设置在上层盖片远离电感模具一面上，与温敏电感形成串联结构。本发明结构简单、制作难度低、成品敏感量大、感温结构新颖，能同时实现温湿度无源无线感测。

主权项

一种温湿度集成的无源无线传感器，其特征在于，包括温敏电感和湿敏电容构成的LC谐振回路；所述温敏电感为三明治结构，包括底层衬底(1)、中部的电感模具(3)和上层盖片(4)；电感模具(3)为螺旋形的凹槽，凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金(2)，液态金属合金(2)的体积小于凹槽的容积；凹槽内液态金属合金(2)的上表面设有一层氧化物保形层(5)，氧化物保形层(5)的高度低于凹槽上表面的高度；所述湿敏电容设置在上层盖片(4)远离电感模具(3)一面上，与温敏电感形成串联结构。