[发明专利]一种具有生物活性的Ta2N纳米晶涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610498729.5 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105951048A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 徐江;刘林林;蒋书运 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;A61L27/30;A61L27/06;A61L27/54 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种具有生物活性的Ta2N纳米晶涂层及其制备方法。该涂层由大小8‑20 nm的Ta2N纳米晶粒组成，平均晶粒尺寸约为12.8 nm，在Hanks溶液中37℃下浸泡一周后后表面被磷灰石覆盖。采用双阴极等离子溅射沉积技术，在预处理过的医用钛合金工件表面原位沉积Ta2N纳米晶涂层，其中：a.靶材电压800~1000 V，工件电压250~400 V，靶材与工件间距10~20 mm，Ar气压25~40 Pa，N2分压1.0~2.5 Pa，沉积温度750~950 ℃，沉积时间 1.0~2.0 h；b.溅射靶材的种类：纯度为大于99.9%的商用纯Ta。本发明涂层提高医用钛合金的耐磨性、抗腐蚀性和生物活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 生物 活性 ta sub 纳米 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有生物活性的Ta2N纳米晶涂层，其特征在于，所述涂层由大小8‑20 nm的Ta2N纳米晶粒组成，平均晶粒尺寸约为12.8 nm，在Hanks溶液中37℃下浸泡一周后的表面被磷灰石覆盖。
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