[发明专利]一种黄绿光发光二极管的外延片及制备方法有效
| 申请号： | 201610486621.4 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106057997B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孙炳蔚;王世俊;邢振远;李彤;董耀尽 | 申请（专利权）人： | 华灿光电(苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/14 | 分类号： | H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 215600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种黄绿光发光二极管的外延片及制备方法，属于光电子制造技术领域。该外延片包括依次层叠的衬底、缓冲层、布拉格反射层、N型限制层、有源层、P型限制层、电流扩展层和欧姆接触层，外延片还包括应变阻挡层，应变阻挡层夹设在有源层和P型限制层之间，该制备方法包括：提供一衬底；在衬底上依次外延生长缓冲层、布拉格反射层、N型限制层、有源层、应变阻挡层、P型限制层、电流扩展层和欧姆接触层。通过在有源层和P型限制层之间设置应变阻挡层，由于应变阻挡层的能带高于P型限制层的能带，因此可以阻挡电子，防止电子溢流，这样就提高了空穴注入效率，减少了非辐射复合，从而提高了黄绿光LED的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黄绿 发光二极管 外延 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种黄绿光发光二极管的外延片，所述外延片包括依次层叠的衬底、缓冲层、布拉格反射层、N型限制层、有源层、P型限制层、电流扩展层和欧姆接触层，其特征在于，所述外延片还包括应变阻挡层，所述应变阻挡层夹设在所述有源层和所述P型限制层之间，所述应变阻挡层为非掺杂AlInP层，所述P型限制层为AlInP层，其中，所述应变阻挡层的Al组分含量高于所述P型限制层的Al组分含量，所述应变阻挡层的厚度为20～40nm。
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