[发明专利]一种多晶硅还原炉电源系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统，包括工频电源，工频电源的输出端连接于负载的两端，还包括高频电源和用于使高频电源与工频电源叠加的耦合谐振槽路，耦合谐振槽路设于高频电源的输出端，耦合谐振槽路的输出端连接于负载的两端。此种多晶硅还原炉电源系统中，工频电源与高频电源并列叠加运行为同一负载供电，硅棒内外温差梯度较小，硅棒内外温度分布更加均匀，可以防止硅芯熔化，减少硅芯机械应力，避免裂棒和系统停车，减少热点，使硅棒能够生长成的直径更大一些，生产效率得到提高；此种复合电源能够合理利用高频电源的集肤效应，以较小的电流维持加热温度，有效降低能耗；高频电源与工频电源可以分别独立进行控制，投退方便快捷。

主权项

1.一种多晶硅还原炉电源系统，包括工频电源，所述工频电源的输出端连接于负载的两端，其特征在于，还包括高频电源和用于使所述高频电源与所述工频电源叠加的耦合谐振槽路，所述耦合谐振槽路设于所述高频电源的输出端，所述耦合谐振槽路的输出端连接于所述负载的两端，所述负载为多晶硅棒，所述负载在接受工频与高频两种频率的电源环境下生长；所述耦合谐振槽路中设有用于耦合的耦合高频变压器；所述耦合谐振槽路与所述负载之间设有用于在高压击穿硅芯时隔离所述高频电源的隔离开关；所述高频电源的出线母排的截面面积范围为0.9A/mm2至1.1A/mm2。