[发明专利]激光复合喷射液束的微纳加工方法及装置

摘要

本发明公开了一种激光复合喷射液束的大长径比微纳加工方法及装置，属于微纳加工技术领域，该装置包括激光脉冲序列调节器(1)、激光系统(2)、激光束调整系统(3)、可见光透射激光反射镜(4)、激光束与喷射液束同轴观测调控系统(5)、聚焦镜(6)、调控装置(7)、喷射装置(8)、微纳工作台(9)、喷射液过滤循环系统(10)、脉冲电源(11)和整体控制系统电源(12)，该方法是利用激光系统(2)产生的激光束以喷射装置(8)产生的喷射液束作为介质在工件上进行微纳加工。该微纳加工方法及装置适用于发动机叶片气膜孔的加工。

主权项

一种激光复合喷射液束的微纳加工装置，其特征在于：所述微纳加工装置包括激光脉冲序列调节器(1)、激光系统(2)、激光束调整系统(3)、可见光透射激光反射镜(4)、激光束与喷射液束同轴观测调控系统(5)、聚焦镜(6)、调控装置(7)、喷射装置(8)、微纳工作台(9)、喷射液过滤循环系统(10)、脉冲电源(11)和整体控制系统电源(12)，其中，所述激光脉冲序列调控器(1)与激光系统(2)连接；所述激光系统(2)产生的激光经过激光束调整系统(3)后到达可见光透射激光反射镜(4)；所述激光束与喷射液束同轴调控系统(5)包括调节镜(501)、滤光镜(502)、刻度标尺镜(503)和CCD摄像机(504)；所述调控装置(7)中心设有通孔，调控装置(7)与喷射装置(8)固定连接；所述喷射装置(8)包括玻璃窗口(801)、喷嘴(802)、喷射液束(803)，玻璃窗口(801)布置于喷射装置(8)的壳体上，喷嘴(802)布置于喷射装置(8)壳体的内部，喷嘴(802)喷出喷射液束(803)，所述微纳工作台(9)包括夹具(901)和工作台面(902)，夹具(901)布置于工作台面(902)上；所述CCD摄像机(504)、刻度标尺镜(503)、滤光镜(502)、调节镜(501)、可见光透射激光反射镜(4)、聚焦镜(6)、调控装置(7)、喷嘴(802)、夹具(901)和工作台面(902)从上至下依次布置且具有同一竖向中心线；所述喷射液过滤循环系统(10)包括喷射液箱(1001)、一级过滤器(1002)、蓄能器(1003)、泵组(1004)、压力表(1005)、二级过滤器(1006)和流量控制器(1007)，喷射液箱(1001)通过管路依次与泵组(1004)、一级过滤器(1002)、蓄能器(1003)和二级过滤器(1006)连接，并进一步与喷射装置(8)的喷嘴(802)连接，管路上还设有压力表(1005)和流量控制器(1007)，喷射液箱(1001)通过管路还与微纳工作台(9)连接；所述脉冲电源(11)与喷射装置(8)的喷嘴(801)连接；所述激光脉冲序列调节器(1)、激光系统(2)、激光束与喷射液束同轴观测调控系统(5)、微纳工作台(9)、喷射液过滤循环系统(10)、脉冲电源(11)均与整体控制系统电源(12)电连接。