[发明专利]一种绝对波长标定和校准装置及其方法

摘要

本发明公开了一种绝对波长标定和校准装置及其方法，用于准分子激光器绝对波长的标定和校准，该装置按光路方向顺次包括第一正透镜(1)、匀化片(2)、第二正透镜(3)、第一半透半反镜片(4a)和第二半透半反镜片(4b)、不同元素制成的第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)、第三正透镜(6a)和第四正透镜(6b)、第一滤光片(7a)和第二滤光片(7b)、第一紫外光电探测器件(8a)、第二紫外光电探测器件(8b)和第三紫外光电探测器件(8c)，该方法采用两个分别填充不同元素的空心阴极灯，基于两种不同元素发出的至少两条193nm附近高吸收强度原子吸收线的方法来进行激光器绝对波长的标定和校准，利用两条强原子吸收线处产生的高对比度信号变化量，来提高绝对波长标定和校准的精度，并可能降低对探测电路精度的要求。

主权项

1.一种绝对波长标定和校准方法，其采用一种绝对波长标定和校准装置，该装置按光路方向顺次包括第一正透镜(1)、匀化片(2)、第二正透镜(3)、第一半透半反镜片(4a)和第二半透半反镜片(4b)、不同元素制成的第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)、第三正透镜(6a)和第四正透镜(6b)、第一滤光片(7a)和第二滤光片(7b)、第一紫外光电探测器件(8a)、第二紫外光电探测器件(8b)和第三紫外光电探测器件(8c)，该方法包括下述步骤：S1、使得第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)所在支路的光束各自相交在灯内部阴极区域中心处，随后继续发散传输，同步采集第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)所在的两个支路、基底信号所在支路能量；S2、将第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)所在支路能量分别与基底信号支路能量求比值；S3、精确定位上述两个空心阴极灯各自原子吸收线的准确位置；步骤S3进一步包括：在原子吸收线附近开始小步距微调波长，原子吸收线处E1和E2信号曲线将出现一个锐利的衰减峰，峰极小值处即第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)各自元素的原子吸收线准确位置，标记这两处原子吸收线准确位置；S4、获得两条不同元素的原子吸收线准确位置后，通过两个基准信号，采用插值法求出准分子激光器中心波长的精确位置，完成输出中心波长的绝对标定和校准过程。