[发明专利]微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法

摘要

本发明提供了一种微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法，包括：液体管道，气体管道，气液混合泵，超纯水管道，与超纯水管道相连接的超纯水喷头，曝气装置；超纯水经超纯水管道和超纯水喷头后喷射在晶圆上，在晶圆表面形成超纯水膜；清洗液体通过液体管道进入气液混合泵；用于产生微纳米气泡的气体通过气体管道进入气液混合泵；气液混合泵将从液体管道出来的清洗液体和从气体管道出来的气体充分混合，且使该气体充分溶解于清洗液体中；曝气装置与气体混合泵相连通，充分混合的所述清洗液体和所述气体从气液混合泵出来后，经曝气装置释放后形成微纳米气泡喷射在晶圆表面的超纯水膜上，从而实现在不损伤晶圆表面图案的同时提高对晶圆表面颗粒的去除效果。

主权项

1.一种微纳米气泡清洗晶圆的系统，其特征在于，包括：液体管道，气体管道，气液混合泵，超纯水管道，与超纯水管道相连接的超纯水喷头，曝气装置；其中，/n超纯水管道，用于向晶圆输送超纯水，超纯水经超纯水管道和超纯水喷头后喷射在晶圆上，在晶圆表面形成超纯水膜；/n液体管道，与气液混合泵相连通，清洗液体通过液体管道进入气液混合泵；/n气体管道，与气液混合泵相连通，用于产生微纳米气泡的气体通过气体管道进入气液混合泵；/n气液混合泵，与液体管道、气体管道相连通，将从液体管道出来的清洗液体和从气体管道出来的气体充分混合，且使该气体充分溶解于清洗液体中；/n曝气装置，与气体混合泵相连通，充分混合的所述清洗液体和所述气体从气液混合泵出来后，经曝气装置释放后形成微纳米气泡喷射在晶圆表面的超纯水膜上；其中，在曝气装置向晶圆喷射微纳米气泡时和超纯水喷头向晶圆喷射超纯水时，晶圆均处于旋转状态；微纳米气泡在超纯水膜表面长大破碎造成超纯水膜的扰动，从而实现对晶圆的清洗。/n