[发明专利]一种制备耐腐耐磨钽复合涂层的方法

摘要

本发明公开了一种制备耐腐耐磨钽复合涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)先用惰性气体对气相沉积反应器及所有管道进行冲洗、排空；(2)将待沉积材料处理后放于气相沉积反应器内；(3)用真空泵将气相沉积反应器内抽真空，同时将气相沉积反应器内加热；(4)在蒸发器内将卤化钽加热至50‑250℃，用载气载带卤化钽气体进入反应器，同时向反应器内通入N2和H2，反应进行0.5～5小时。(5)停止通入N2后继续通入H2，反应继续进行，材料表面形成金属钽涂层；(6)取出沉积样品。本发明优点是可在不锈钢和陶瓷阀门、轴承、管件等工业常用零部件上沉积致密钽涂层，提高了零部件的耐腐蚀性能，显著延长了零部件的使用寿命。

主权项

1.一种制备耐腐耐磨钽复合涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)先用惰性气体对气相沉积反应器及所有管道进行冲洗、排空，所述的惰性气体是氦气或氩气；所述气相沉积反应器是石英反应器；(2)将待沉积材料经磨光、去污、清洗、晾干后，分别用异丙醇、丙酮和甲醇在超声波中清洗，然后用去离子水清洗，最后在N2中干燥后放于气相沉积反应器内；(3)用真空泵将气相沉积反应器内真空度抽至2500Pa‑3000Pa，同时将气相沉积反应器内温度加热到550‑600℃；(4)在蒸发器内将卤化钽加热至225‑230℃，用载气载带卤化钽气体进入反应器，同时向气相沉积反应器内通入N2和H2，所述N2和H2体积比1/5～5/1，反应进行1～3小时；直到在材料基体表面形成10nm‑10000nm厚的TaNx过渡层；所述载气是氦气和氢气或氩气和氢气的混合气体混合比例是5：1～2：1，载气以1000mL/min或2000mL/min的流量载带TaCl5气体进入石英反应器；(5)停止通入N2后继续通入H2，反应继续进行30‑50小时，材料表面形成200‑300μm金属钽涂层；(6)关闭反应气体、加热电源，使反应器降温；当反应器温度下降到100℃后取出沉积样品。