[发明专利]极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法在审
| 申请号： | 201610437953.3 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105865758A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 祝东远;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B7/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法，涉及光收集系统检测领域。解决了现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率低的问题。它包括光源出射器和收集镜系统支撑架、CCD传感器、传感器支撑架和计算机；收集镜系统支撑架上固定有极紫外光收集镜系统，CCD传感器位于传感器支撑架上，且CCD传感器和传感器支撑架均位于收集镜系统支撑架下方，CCD传感器的数据信号输出端与计算机的数据信号输入端连接，光源出射器出射面光经极紫外光收集镜系统掠入射反射后，汇聚至CCD传感器，计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。用于对极紫外光收集镜系统进行性能检测。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 收集 系统 检测 装置 应用 进行 装配 方法 | ||
【主权项】：
极紫外光收集镜系统的检测装置，其特征在于，它包括光源出射器(1)和收集镜系统支撑架(3)、CCD传感器(4)、传感器支撑架(5)和计算机(6)；收集镜系统支撑架(3)上固定有极紫外光收集镜系统(2)，CCD传感器(4)位于传感器支撑架(5)上，且CCD传感器(4)和传感器支撑架(5)均位于收集镜系统支撑架(3)下方，CCD传感器(4)的数据信号输出端与计算机(6)的数据信号输入端连接，光源出射器(1)出射的面光经极紫外光收集镜系统(2)掠入射反射后，汇聚至CCD传感器(4)，计算机(6)用于测量CCD传感器(4)接收到的光斑和记录光斑信息。
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