[发明专利]一种三轴加速度计灵敏度的测量方法

摘要

本发明公开了一种三轴加速度计灵敏度的测量方法，X轴、Y轴水平方向的激光测振仪分别采用可调式安装支架安装，并且激光测振仪的激光光斑正对靶体的X轴、Y轴测量反射面中心，Z轴垂直方向的激光测振仪应通过固定支架平台安装在台体上方，激光光斑正对靶体Z轴测量反射面中心；所述靶体与台面通过底板螺栓刚性连接，靶体的三个测量反射面与三轴标准振动台的X、Y、Z轴的对应振动运动方向保持一致。发明是一种三轴向压电加速度计灵敏度的测量新方法，可实现三轴向压电加速度计的三个轴灵敏度一次性同步测量或校准，保证三轴向压电加速度计测量/校准状态与其工作状态相符，提高了灵敏度测量值准确性。

主权项

一种三轴加速度计灵敏度的测量方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1)X轴、Y轴水平方向的激光测振仪分别采用可调式安装支架安装，并且激光测振仪的激光光斑正对靶体的X轴、Y轴测量反射面中心，Z轴垂直方向的激光测振仪应通过固定支架平台安装在台体上方，激光光斑正对靶体Z轴测量反射面中心；2)所述靶体与台面通过底板螺栓刚性连接，靶体的三个测量反射面与三轴标准振动台的X、Y、Z轴的对应振动运动方向保持一致；3)被测三轴加速度计并肩靠在靶体并固定在台面上，且保持三轴加速度计的X、Y、Z三个输出轴的方向与靶体的三个测量反射面一致；4)三轴加速度计的X、Y、Z轴三个方向的振动输出与多路电荷放大器连接，并将电信号放大后输给多路数据采集处理系统，三轴激光测振仪的三台驱动控制器信号输出端连接多路数据采集处理系统；5)激光测振仪的控制系统软件的振动参数设定：选定参考频率f_i0＝160Hz、设定X、Y、Z轴为相同振动控制加速度，各轴的初始相位差为0，电荷放大器的灵敏度均置为“1.00”pC/Unit，每个“Unit”对应电荷放大器的增益倍数K，与计算机测量软件系统中的增益倍数与电荷放大器倍数设置相一致；6)三轴标准振动台置于工作状态，控制系统软件处于工作界面，并按所述步骤5)中的振动参数启动三轴标准振动台振动，并处于闭环定频振动控制状态；7)三轴激光测振仪同步测量靶体X、Y、Z三个方向振动加速度a_x0、a_y0、a_z0，同时，被校三轴加速度计测得台面的X、Y、Z轴振动加速度信号经电荷放大器放大后输出电压为Ux、Uy、Uz，则：被校三轴加速度计的三轴振动参考灵敏度为被校三轴加速度计的X、Y、Z轴输出电压幅值Ux、Uy、Uz与所各轴对应承受的振动加速度幅值a_x0、a_y0、a_z0之比。