[发明专利]一种扩散炉自动控制方法在审
| 申请号： | 201610428886.9 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107514913A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 许斌 | 申请（专利权）人： | 许斌 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;F27D19/00;C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扩散炉自动控制方法，包括如下步骤S101、抽真空到设定压力；S102、炉体加热升温至设定温度；S103、停止抽真空，并充气到第二设定压力；S104、停止充气，并升温至第二温度；S105、停止升温，同时充气至第三压力；S106、停止充气，同时等待炉体自然降温至第三温度；S107、开风机同时保压，冷却至设定温度；S108、停止风机，放气。本发明使炉膛的温度严格按照给定温度曲线变化,不仅使升温阶段可以按照设定的要求上升,而且也可以很快达到稳态,且温度曲线的超调量很小,控制精度可以达到1％以内,并实现了整个工艺生产过程的自动化,减轻了操作人员的劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 自动控制 方法 | ||
【主权项】：
一种扩散炉自动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S101、抽真空到设定压力；S102、炉体加热升温至设定温度；S103、停止抽真空，并充气到第二设定压力；S104、停止充气，并升温至第二温度；S105、停止升温，同时充气至第三压力；S106、停止充气，同时等待炉体自然降温至第三温度；S107、开风机同时保压，冷却至设定温度；S108、停止风机，放气。
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