[发明专利]一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器有效
| 申请号： | 201610424058.8 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN106124028B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 江毅;张柳超;姜澜;王素梅;李晓炜 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 唐华 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器，属于光纤传感领域。单模光纤、空芯光纤和实芯光纤顺序熔接；用飞秒激光从实芯光纤端面烧蚀形成质量块和悬臂梁；所述质量块为圆柱体，该圆柱体的直径小于空芯光纤的内径；空芯光纤和实芯光纤通过悬臂梁固定连接。本发明避免了飞秒激光加工光纤所形成反射面的反射率低甚至没有反射的问题，且所探测的振动方向与光纤轴向平行，易于传感器的安装。所述振动传感器具有体积小、共振频率高、耐高温、抗电磁干扰等特点，可用于高温环境下的振动测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 加工 光纤 振动 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器，其特征在于：包括：单模光纤(1)，空芯光纤(2)，实芯光纤(3)；其中，实芯光纤(3)由质量块(4)和悬臂梁(5)组成；单模光纤(1)、空芯光纤(2)和实芯光纤(3)顺序熔接；所述实芯光纤(3)的质量块(4)为圆柱体，该圆柱体的直径小于空芯光纤(2)的内径；空芯光纤(2)和实芯光纤(3)通过悬臂梁(5)固定连接；所述质量块(4)和悬臂梁(5)是通过用飞秒激光从实芯光纤端面烧蚀形成的。
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