[发明专利]涂布装置及涂布方法有效
| 申请号： | 201610421023.9 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106391358B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 时枝大佐 | 申请（专利权）人： | 株式会社思可林集团 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涂布装置及涂布方法，抑制在输送至喷嘴的涂布液中含有异物及气体成分而将涂布液良好地涂布于基板上。涂布装置是将涂布液涂布于基板上，包括：蓄积部，蓄积涂布液；喷嘴，向基板喷出涂布液；配管，使涂布液从蓄积部流通至喷嘴；泵，插设于配管而将涂布液输送至喷嘴；过滤器，插设于蓄积部与泵之间的配管而去除从蓄积部供给的涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于过滤器与泵之间的配管而从已穿过过滤器的涂布液中去除气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置的特征在于包括：蓄积部，蓄积所述涂布液；喷嘴，向所述基板喷出所述涂布液；配管，使所述涂布液从所述蓄积部流通至所述喷嘴；泵，插设于所述配管而将所述涂布液输送至所述喷嘴；过滤器，插设于所述蓄积部与所述泵之间的所述配管而去除从所述蓄积部供给的所述涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于所述过滤器与所述泵之间的所述配管而从已穿过所述过滤器的所述涂布液中去除气泡。
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