[发明专利]一种具有核壳结构的TiN/TiO2三维纳米线阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有核壳结构的TiN/TiO₂三维纳米线阵列及其制备方法，具体方法是将预处理好的Ti网在水热条件下制备出TiO₂纳米线阵列的前驱体，随后对前驱体在空气中进行煅烧处理，制备出三维TiO₂纳米线阵列，随后在高真空条件下采用磁控溅射方法在TiO₂表面进行TiN的可控沉积，从而获得三维核壳结构的TiN/TiO₂纳米线阵列。其中TiN/TiO₂纳米线的直径尺寸为40‑150nm，本发明的制备方法具有简单、稳定、尺寸、纯度可控的特点，有利于大规模工业化生产。

主权项

1.一种具有核壳结构的TiN/TiO₂三维纳米线阵列，其特征在于：直接生长于钛网表面，具有三维立体结构，TiN/TiO₂纳米线直径为40‑150nm；所述的具有核壳结构的TiN/TiO₂三维纳米线阵列采用如下方法制备，具体步骤如下：(1)将钛网依次置于丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗，最后取出放在滤纸上自然晾干；(2)将预处理好的钛网放入装有NaOH溶液的反应釜中，在烘箱中于210‑230℃反应14‑16h，取出钛网后置于稀盐酸中浸泡后取出钛网，用去离子水冲洗，冲洗后自然晾干；(3)将步骤(2)中晾干后的钛网在空气气氛中煅烧，煅烧温度为550‑650℃，保温时间为1.8‑2.2小时；(4)将步骤(3)得到的产物放入磁控溅射沉积系统的真空室，以TiN作为溅射的靶材，射频功率设为90‑110W，溅射15‑30min，得到核壳结构的TiN/TiO₂纳米线阵列。