[发明专利]太阳能电池光电吸收转换层成膜后处理剂及使用方法有效
申请号: | 201610410928.6 | 申请日: | 2016-06-04 |
公开(公告)号: | CN105870000B | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 陈良范;孙嵩泉;甄永泰 | 申请(专利权)人: | 安徽恒致铜铟镓硒技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 张建宏 |
地址: | 233000 安徽省蚌埠市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 铜铟镓硒薄膜太阳能电池光电吸收转换层成膜后的处理剂,它由以下组分混合组成:水、氢氧化钠、氢氧化钾、氯化铁、硫脲、氢氧化铵。其使用方法具有以下步骤:将所述的处理剂搅拌加热至40~90℃;将成膜有太阳能电池铜铟镓硒光电吸收转换层的衬底浸没至处理剂中20~60分钟,并不断摆动,以使薄膜周围的处理剂成分均匀;取出处理后的衬底,用去离子水反复冲洗至去离子水电阻值达10MΩ以上;用机械甩干的方式去除衬底上残留的水渍,在150℃烤箱内烘烤10分钟。利用本发明所提供的处理剂及使用方法对电吸收转换层处理后,抑制了薄膜中铜元素的析出以及表面铜元素与氧的反应,从而提高了转换效率并解决了薄膜老化现象。 | ||
搜索关键词: | 铜铟镓硒 薄膜 太阳能电池 光电 吸收 转换 层成膜后 处理 使用方法 | ||
【主权项】:
1.铜铟镓硒薄膜太阳能电池光电吸收转换层成膜后的处理剂,其特征在于它由以下组分混合组成:水、氢氧化钠、氢氧化钾、氯化铁、硫脲、氢氧化铵,每升该处理剂中各组分的摩尔比为:氢氧化钠0.3~0.7M,氢氧化钾0.2~0.5M,氯化铁0.2~0.5M,硫脲0.5~1.0M,氢氧化铵0.7~1.5M,其余为水。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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