[发明专利]电极型电场传感器封装元件及其用途有效
| 申请号： | 201610409446.9 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106124870B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 闻小龙;夏善红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电极型电场传感器封装元件，包括封装管壳；电场传感器芯片，固定于所述封装管壳内；封装盖，覆盖所述管壳开口，形成内腔以容纳所述电场传感器芯片；以及封装电极，位于封装盖背离内腔的一侧，根据与封装盖由近及远的关系封装电极分为首端、中段和尾端。以及一种该电极型电场传感器封装元件的应用。通过多种封装电极设计，提升了电场传感器的空间分辨率，提高了传感器的灵敏度，增强了传感器的环境适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 电场 传感器 封装 元件 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种电极型电场传感器封装元件，其特征在于包括：/n封装管壳；/n电场传感器芯片，固定于所述封装管壳内；/n封装盖，覆盖所述管壳开口，形成内腔以容纳所述电场传感器芯片；以及/n封装电极，位于封装盖背离内腔的一侧，根据与封装盖由近及远的关系封装电极分为首端、中段和尾端；所述中段的形状为弧形，或弧形与直线形二者的组合；/n其中，所述中段被屏蔽层包裹。/n
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