[发明专利]垂直多束激光处理装置

摘要

垂直多束激光处理装置。本发明涉及一种使用激光的多点处理装置，更具体地，本发明被构造为包括：激光器，其用于产生一组脉冲；会聚透镜，其用于使激光束会聚和发散；光束路径分离单元，其用于将从会聚透镜发散的光束分离成不同距离的多个路径的光束；以及聚焦透镜，其用于在同一方向的不同位置处形成针对每个光路径的焦点，以形成从光束路径分离单元射出的不同距离的多个路径光束的多个点，因此有效的是，不同距离的多个点可以形成在工件的同一线上，此外，通过调整物侧数值孔径来将一像侧数值孔径调整为与其它像侧数值孔径相同，并且能够通过使用Fθ透镜和电流镜，按照扫描方法而无需移动光学系统来改变点位置。

主权项

1.一种垂直多束激光处理装置，该垂直多束激光处理装置包括：激光设备(10)，所述激光设备(10)用于产生用于对工件(1)进行加工的光束；会聚透镜(20)，所述会聚透镜(20)用于将从所述激光设备(10)投射的光束会聚到间隔开预定距离的位置的一点上，并且使经会聚的光束发散；光束路径分离单元(30)，所述光束路径分离单元(30)用于将经发散的光束通过不同距离的多个光路径在同一方向上射出；以及聚焦透镜(40)，所述聚焦透镜(40)用于接收从所述光束路径分离单元(30)射出并通过多个不同的路径传输的光束，并且通过在不同距离的位置处形成焦点来将所述光束聚焦到不同距离的多个点上，其中，所述光束路径分离单元(30)包括：第一偏振分束器PBS1，所述第一偏振分束器PBS1用于接收在由所述会聚透镜(20)会聚之后发散的光束，使所述光束的一部分透射，并且使所述光束的一部分反射；以及第二偏振分束器PBS2，所述第二偏振分束器PBS2用于使由所述第一偏振分束器PBS1透射的光束透射，并且使在与所透射的光束的方向相同的方向上通过多个不同的光路径输入的光束反射，其中，所述第一偏振分束器PBS1和所述第二偏振分束器PBS2按照固定间隔安装以被成行布置在由所述会聚透镜(20)会聚之后发散的光束的路径上。