[发明专利]一种扭转式电场传感器在审
| 申请号： | 201610404210.6 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106093605A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;储昭志;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种扭转式电场传感器，其中，屏蔽电极(3)位于衬底(1)之外的平面上，且屏蔽电极(3)其中相对的两端分别与转动弹性梁(5)连接，转动弹性梁(5)各自通过固定描点(6)固定在衬底(1)上，该设置使屏蔽电极(3)能沿着转动弹性梁(5)进行扭转振动；感应电极(4)也在衬底(1)之外的平面上，且其与未扭转振动的屏蔽电极(3)的侧壁位置正对，并通过固定锚点(6)与衬底(1)固定连接；以及驱动结构(2)用于驱动屏蔽电极(3)进行所述扭转振动。所述传感器能实现往复屏蔽感应电极，具有体积小、感应效率高、制造简单、成本低的优势，有利于批量化生产、封装和集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扭转 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种扭转式电场传感器，其特征在于，包括衬底(1)，驱动结构(2)，屏蔽电极(3)，感应电极(4)，多个转动弹性梁(5)和多个固定锚点(6)，其中：所述的屏蔽电极(3)位于衬底(1)之外的平面上，且屏蔽电极(3)其中相对的两端分别与转动弹性梁(5)连接，转动弹性梁(5)各自通过固定描点(6)固定在衬底(1)上，该设置使屏蔽电极(3)能沿着转动弹性梁(5)进行扭转振动；所述的感应电极(4)也在衬底(1)之外的平面上，且其与未扭转振动的屏蔽电极(3)的侧壁位置正对，并通过固定锚点(6)与衬底(1)固定连接；以及所述的驱动结构(2)用于驱动屏蔽电极(3)进行所述扭转振动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电子学研究所，未经中国科学院电子学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610404210.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
