[发明专利]具有通过电镀制造的金属栅的太阳能电池

摘要

本发明涉及具有通过电镀制造的金属栅的太阳能电池。本发明的一个实施例提供具有通过电镀制造的金属栅的太阳能电池及其制造方法。该太阳能电池包括光生伏打结构、位于光生伏打结构之上的透明导电氧化物(TCO)层、以及位于TCO层之上的前侧金属栅。TCO层与光生伏打结构的前表面接触。金属栅包括以下项中至少之一Cu和Ni。

主权项

一种太阳能电池，包括：晶态硅衬底；分别位于所述晶态硅衬底的前侧和背侧上的前氧化硅层和背氧化硅层；分别位于所述前氧化硅层和背氧化硅层上的前缓变掺杂的无定形硅层和背缓变掺杂的无定形硅层；分别位于所述前缓变掺杂的无定形硅层和背缓变掺杂的无定形硅层上的前透明导电氧化物层和背透明导电氧化物层；以及位于所述前透明导电氧化物层和背透明导电氧化物层中的每一个上的电极栅，每个电极栅包括：通过物理气相沉积技术直接沉积到对应的透明导电氧化物层上的铜种子层，该对应的透明导电氧化物层位于所述铜种子层和对应的缓变掺杂的无定形硅层之间并且与所述铜种子层和对应的缓变掺杂的无定形硅层直接接触；位于所述铜种子层上并且与所述铜种子层直接接触的电镀的铜层，其中所述电镀的铜层和种子层被图案化以暴露出对应的透明导电氧化物层。