[发明专利]多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法

摘要

本发明提供的一种多样品单通道自动切换进样系统，包括直线丝杠传动机构与行星齿轮式转动切换机构；一种使用上述多样品单通道自动切换进样系统的进样方法，包括利用直线丝杠传动机构中的推送杆，将行星齿轮式转动切换机构中的各种样品推送入工作区域。本发明结构简单、使用方便，能够实现多样品的单个有序进出切换，可实现多层沉积薄膜的一次性试验，无需多次打开实验设备，操作快速稳定，并有效的避免了污染的产生。

主权项

1.一种多样品单通道自动切换进样系统，包括机架，机架上安装有进样机构，切换机构及控制系统，进样机构，设有推送杆；切换机构，设有多组用于分别存放各种样品的物料舱室；控制系统，控制推送杆推送各物料舱室的样品；所述切换机构为行星齿轮式转动切换机构；其特征在于：所述切换机构包括具有真空腔的舱室，舱室的两开口端分别盖设有前盖板及后盖板，舱室内密封设有行星齿轮机构，行星齿轮机构包括沿舱室直径方向隔设的齿轮固定盘，齿轮固定盘的中部设有传动主轴孔，传动主轴孔的周围沿圆周方向均布设有大行星轮孔，相邻的大行星轮孔之间设有小行星轮孔，传动主轴插设在传动主轴孔中，前盖板朝向舱室的面上，设有套设在传动主轴上的太阳轮，大行星轮及小行星轮通过轴承分别安装在大行星轮孔及小行星轮孔中，大行星轮与小行星轮啮合设置在太阳轮的周围，小行星轮与相邻的大行星轮相啮合，大行星轮孔中还穿设有物料舱室，物料舱室一端从大行星轮的中心孔穿过，另一端延伸至后盖板，后盖板上开设有出料口及放置口，各物料舱室可对接在出料口及放置口上，前盖板外设有切换电机、同步带及磁流体，传动主轴通过磁流体密封后与切换电机的输出轴通过同步带传动连接，前盖板上设有与进样机构的连接接口相接，并可与各物料舱室分别对应相通的推送接口。