[发明专利]一种大功率小体积射频电源

摘要

一种大功率小体积射频电源，包括可编程信号源，前级信号驱动电路、一级放大电路、输入BALUN电路、二级功率放大电路、输出BALUN电路、功率检测电路及单片机。单片机根据功率检测电路输出的检测信号，以PWM信号对输入所述前级信号驱动电路的射频信号进行调制，并调节所述一级放大电路的增益实现射频电源输出调节。本射频电源相较于传统射频电源具有体积小，输出功率高，输出功率稳定，频率稳定的特点，特别适用于射频CO2激光器的射频激励。

主权项

1.一种大功率小体积射频电源，其特征在于，包括：可编程信号源，提供射频信号；具有PWM控制端的前级信号驱动电路，其输入端连接所述可编程信号源的输出端；一级放大电路，所述一级放大电路配置有用于检测其栅极电压与漏极电压的一级放大电路电压检测电路和用于控制其栅极电压与漏极电压的一级放大电路电压控制电路；所述一级放大电路的输入端连接所述前级信号驱动电路的输出端，且输入回路中串联由电机带动的可调电阻，该电机由功率控制电路驱动；其中，所述可调电阻的阻值为100Ω，并在该可调电阻上并联68pF电容，用于补偿接入该可调电阻带来的的相位差；输入BALUN电路，用于将所述一级放大电路输出的射频信号分成两路等大反相信号；二级推挽功率放大电路，用于放大所述的两路等大反相信号；所述二级推挽功率放大电路配置有用于检测其栅极电压与漏极电压的二级放大电路电压检测电路和用于控制其栅极电压与漏极电压的二级放大电路电压控制电路；输出BALUN电路，其输出端作为射频电源输出端，其两输入端分别连接所述二级推挽功率放大电路的输出端，用于将来自所述二级推挽功率放大电路的两路等大反相信号合成为一路输出射频信号提供至负载；功率检测电路，连接于所述输出BALUN电路输出端，用于检测所述射频电源输出端的输出射频信号的功率；以及单片机控制模块，其一输入端、一输出端、PWM信号输出端分别连接所述功率检测电路的输出端、所述功率控制电路的输入端和所述前级信号驱动电路的PWM控制端，且通过IIC总线与所述可编程信号源的频率控制端相连；所述单片机控制模块根据来自所述功率检测电路的检测信号，以PWM信号对输入所述前级信号驱动电路的射频信号进行调制，并通过所述功率控制电路带动电机调节所述可调电阻对射频电源输出进行调节。