[发明专利]具有共模抑制结构的MEMS装置在审
| 申请号： | 201610391466.8 | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN106257238A | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 邵鹏;安德鲁·C·麦克尼尔 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国得克*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS装置，该MEMS装置包括耦合一对驱动块的驱动弹簧系统和耦合一对感测块的感测弹簧系统。该驱动弹簧系统包括受约束的刚性梁和使该对驱动块互连的弯曲部。响应于该驱动块的驱动移动，该弯曲部使该受约束的刚性梁能够围绕该刚性梁的中心铰接点枢转移动，从而实现该驱动块的反相驱动运动并抑制该驱动块的同相运动。该感测弹簧系统包括对角地朝向的刚性梁和弹簧系统，该弹簧系统实现该感测块的反相感测运动同时抑制该感测块的同相运动。插入在该驱动块与该感测块之间的耦合块使该驱动块的该驱动运动从该感测块的该感测运动解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 抑制 结构 mems 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：平面基板；驱动组合件，所述驱动组合件锚定于所述平面基板，所述驱动组合件包括第一驱动块和第二驱动块；以及刚性梁，所述刚性梁使所述第一驱动块与所述第二驱动块互连，所述刚性梁的纵长尺寸垂直于所述第一和第二驱动块的驱动方向，所述驱动方向大体上平行于所述平面基板，其中所述刚性梁响应于所述第一和第二驱动块在所述驱动方向上的驱动运动而围绕大体上垂直于所述平面基板的轴枢转。
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