[发明专利]一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置和方法在审
| 申请号： | 201610388978.9 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN107462745A | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;杨洋;于鹏;藤泽宇;李鹏;赵亮;李广勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/44 | 分类号： | G01Q60/44 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置和方法，装置包括顺序连接的电压驱动单元、电流检测单元、机构执行单元；方法包括由信号发生器输出交流基准电压信号，通过膜片钳放大器加载到玻璃管电极上，同时，通过膜片钳放大器检测玻璃管电极中的电流值并转换为电压、放大输出到锁相放大器中，由锁相放大器检测与基准信号同频电压信号交流分量的幅值，并以此为反馈控制量通过调节探针的Z向位置实现探针针尖与样品的距离控制。本发明以交流信号的正交分量为反馈控制量，可以抑制信号漂移、电气噪声等影响；对比已有的交流模式，正交幅值成像模式可以采用更高频率的调制信号，因此可以同时满足加快扫描成像速度与提高扫描成像质量的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sicm 正交 扫描 成像 模式 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置，其特征在于包括：顺序连接的电压驱动单元、电流检测单元、机构执行单元；电压驱动单元：用于输出交流基准电压信号，驱动电流检测单元采集探针位置；电流检测单元：用于通过膜片钳放大器检测玻璃管电极中的电流值并转换为电压、放大输出到锁相放大器中，由锁相放大器检测与基准电压信号同频正交分量幅值反馈至机构执行单元；机构执行单元：用于将正交分量幅值作为实测值，通过Z向和XY双向两个独立的纳米运动平台及其控制器，控制探针与样品之间的相对位置。
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