[发明专利]非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法

摘要

一种非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由固定支架、加载机构、定子和动子四部分组成，所述定子利用非对称的柔性铰链结构来产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波复合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点，在航空航天、光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。

主权项

一种非对称结构精密压电粘滑直线马达，其特征在于该非对称结构精密压电粘滑直线马达由固定支架（1）、加载机构（2）、定子（3）和动子（4）组成，其中加载机构（2）固定在固定支架（1）上，定子（3）安装在加载机构（2）上，动子（4）安装在固定支架（1）上；其特征在于所述固定支架（1）采用“L”字型结构，固定支架（1）包括固定支架安装孔（1‑1），加载机构螺纹安装孔（1‑2），导轨安装平面（1‑3）和导轨螺纹安装孔（1‑4）；固定支架安装孔（1‑1）可与其它外围装置进行固定，加载机构螺纹安装孔（1‑2）用于加载机构（2）的固定，导轨安装平面（1‑3）和导轨螺纹安装孔（1‑4）用于安装动子（4）；所述的加载机构（2）为非对称结构精密压电粘滑直线马达的锁紧力调节机构，加载机构（2）包括下固定平台（2‑1）、上活动平台（2‑2）、手动调节螺杆（2‑3）和紧固螺钉（2‑4）；下固定平台（2‑1）和上活动平台（2‑2）通过紧固螺钉（2‑4）进行锁紧，调节手动调节螺杆（2‑3）驱使上活动平台（2‑2）移动，所述下固定平台（2‑1）设置有螺纹孔（2‑1‑1）用于与手动调节螺杆（2‑3）进行螺纹连接，下固定平台（2‑1）设置有弹簧固定柱（2‑1‑2）用于安装弹簧（2‑1‑4），下固定平台（2‑1）设置有导轨（2‑1‑3）用于上活动平台（2‑2）的移动，导轨（2‑1‑3）设置有导轨安装螺钉（2‑1‑5），下固定平台（2‑1）底部设置有安装孔（2‑1‑6）通过螺纹连接可实现与固定支架（1）之间的固定安装，下固定平台（2‑1）设置有锁紧保持架（2‑1‑7）和锁紧保持架固定螺钉（2‑1‑8），上活动平台（2‑2）上端面设置有螺纹孔（2‑2‑1）用于固定安装定子（3），上活动平台（2‑2）与紧固螺钉（2‑4）通过其侧面设置的螺纹安装孔（2‑2‑2）进行连接。