[发明专利]N型双面电池及其制备方法

摘要

本申请公开了一种N型双面电池的制备方法，包括：S1：对N型硅片衬底的上下表面进行反应离子刻蚀，并去除损伤层，使得N型硅片衬底的上下表面形成凹坑绒面层；S2：在炉管中对N型硅片衬底的一面进行硼扩散形成P型层，作为N型双面电池的正面；S3：去除硼硅玻璃，并在N型双面电池的正面制作掩膜；S4：在炉管中对N型硅片衬底的另一面进行磷扩散小形成N+层，作为N型双面电池的背面；S5：去除边结、磷硅玻璃以及N型双面电池的正面制作的掩膜；S6：分别在N型双面电池的正面和所述N型双面电池的背面制作电极，获得N型双面电池。N型双面电池的制备方法提高了N型双面电池的光利用率和光电转换效率。本申请还公开了一种N型双面电池。

主权项

一种N型双面电池的制备方法，其特征在于，包括：S1：对N型硅片衬底的上下表面进行反应离子刻蚀，并去除损伤层，使得所述N型硅片衬底的上下表面形成凹坑绒面层；S2：在炉管中对所述N型硅片衬底的一面进行硼扩散形成P型层，作为N型双面电池的正面；S3：去除硼硅玻璃，并在所述N型双面电池的正面制作掩膜；S4：在炉管中对所述N型硅片衬底的另一面进行磷扩散形成N+层，作为N型双面电池的背面；S5：去除边结、磷硅玻璃以及所述N型双面电池的正面制作的掩膜；S6：分别在所述N型双面电池的正面和所述N型双面电池的背面制作电极，获得N型双面电池。