[发明专利]掩膜板及膜层的制备方法

摘要

本发明提供了一种掩膜板及膜层的制备方法，其中，掩膜板包括：面板掩膜区域和标识掩膜区域；所述标识掩膜区域，用于在膜层上形成标识码区域；所述标识掩膜区域包括至少一个对位标记图形，用于在膜层上形成标识码对位标记。膜层的制备方法，包括：在膜层上形成包含标识码对位标记的标识码区域；在所述标识码区域上形成标识码。本发明通过在掩膜板上形成用于在膜层上形成标识码区域的标识掩膜区域，且标识掩膜区域包括至少一个用于在膜层上形成标识码对位标记的对位标记图形，能够实现标识码ID与相应标识码区域的准确对位，提高打码效率，有效降低产品ID的NG风险。

主权项

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：面板掩膜区域和标识掩膜区域；所述标识掩膜区域，用于在膜层上形成标识码区域；所述标识掩膜区域包括至少一个对位标记图形，用于在膜层上形成标识码对位标记；所述对位标记图形包括平行于所述标识掩膜区域的边缘的至少一个第一标记图形以及与所述第一标记图形一一对应的第二标记图形，所述第二标记图形与对应的第一标记图形相交且具有预设夹角；所述第二标记图形上设置有刻度线，所述第二标记图形与所述第一标记图形的交点为初始刻度值，所述初始刻度值为当标识码中心点与标识码区域的中心点重合时，所述标识码的边缘到达相对的第一标记图形的距离。