[发明专利]用于CMP设备上的研磨垫安装夹具装置及使用方法有效
| 申请号： | 201610370175.0 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105817992B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 黄汇丰;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于CMP设备上的研磨垫安装夹具装置及使用方法，当安装研磨垫时，先使用本发明的夹具装置夹住研磨垫边缘，然后把夹具贴住研磨台边缘，即可实现研磨垫对准研磨台中心。通过本发明，安装研磨垫时能使研磨垫准确、方便地与研磨台对准，使每次安装研磨垫都能安装在中心位置。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 研磨台 安装夹具 对准 夹具 夹具装置 夹住 | ||
【主权项】：
1.一种用于CMP设备上的研磨垫安装夹具装置，其特征在于：包括上弧形钢板和下弧形钢板，两个所述上弧形钢板和下弧形钢板的剖切面为L型，且相互倒扣在一起，以两个贴合在一起的圆弧壁为界，形成靠近弧形钢板外弧边缘侧的装卸执行部和用于夹紧所述研磨垫的钳部；其中，所述装卸执行部包括一个夹紧单元和位于所述夹紧单元两侧的两个导流单元；所述夹紧单元包括从垂直穿过所述上弧形钢板且进入所述下弧形钢板的销子和通过夹紧上下两块弧形钢板使所述钳部夹紧研磨垫的紧固件；所述导流单元包括从垂直穿过所述上弧形钢板且进入所述下弧形钢板的销子、抵接在所述上弧形钢板和下弧形钢板间且包围所述销子外侧的弹簧、以及限定所述上下两块弧形钢板的最大间隔距离的紧固件；所述下弧形钢板的内弧边缘的曲率与研磨台的曲率相同。
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