[发明专利]金属膜的成膜方法

摘要

本发明提供一种金属膜的成膜方法。在使用氯化物原料在具有复杂形状部分和平坦形状部分的被处理基板上形成金属膜的情况下，能够在任何部分都形成膜。在该金属膜的成膜方法中，隔着被保持在减压气氛下的腔室内的吹扫，在按顺序向腔室内供给作为原料气体的金属氯化物气体以及对金属氯化物进行还原的还原气体而在配置于所述腔室内的具有复杂形状部分和平坦形状部分的被处理基板形成金属膜时，交替地实施相对地减少金属氯化物原料的供给量而形成第一金属膜的工序和相对地增多金属氯化物原料的供给量而形成第二金属膜的工序。

主权项

1.一种金属膜的成膜方法，在该金属膜的成膜方法中，隔着被保持于减压气氛下的腔室内的吹扫，按顺序向所述腔室内供给作为原料气体的金属氯化物气体以及对金属氯化物进行还原的还原气体，而在配置于所述腔室内的具有复杂形状部分和平坦形状部分的被处理基板上形成金属膜，其特征在于，实施相对地减少所述金属氯化物气体的供给量而形成第一金属膜的工序和相对地增多所述金属氯化物气体的供给量而形成第二金属膜的工序，多次交替地实施形成所述第一金属膜的工序和形成所述第二金属膜的工序。