[发明专利]晶圆测试的控制方法在审
| 申请号： | 201610356761.X | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105866654A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 凌俭波;刘远华;陈燕;汤雪飞;王华 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种晶圆测试的控制方法，先收集初步测试图形，确定需要跳开的管芯，通过测试机台控制探针台进行自由移动和测试，同时测试多个管芯，提高测试效率，同时避开需要跳开的管芯，避免对存在缺陷的管芯进行测试，造成探针损伤或测试机台损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试的控制方法，其特征在于，包括步骤：合成测试图形，确定需要跳开的管芯位置；将测试图形发送至测试机台；所述测试机台控制探针台进行自由移动和测试，所述探针台的多个探针同时对管芯进行测试；测试之前，所述探针台先判断是否需要跳开该管芯，若需要，则跳开；若不需要，则通知所述测试机台进行测试。
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