[发明专利]纳米压印模板的制作系统及方法有效
| 申请号： | 201610350414.6 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN105911815B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 何晓龙;姚继开;关峰;王英涛;舒适;贺芳;周婷婷 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米压印模板制作系统及方法，系统包括：压印基板和多个待拼接的纳米压印模板单元；每个待拼接的纳米压印模板单元上均设置有若干个第一对位标记；压印基板上设置有依次邻接的多个对位区域，每个对位区域中设置有用于与对应的待拼接的纳米压印模板单元上的第一对位标记一一对应的第二对位标记；每个待拼接的纳米压印模板单元用于根据设置在待拼接的纳米压印模板单元上的第一对位标记以及设置在对应的对位区域中的第二对位标记贴附在压印基板上对应的对位区域，以形成由多个待拼接的纳米压印模板单元拼接得到的纳米压印模板。本发明能够满足目前对大尺寸以及高质量的纳米压印模板的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模板 制作 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印模板制作系统，其包括压印基板和多个待拼接的纳米压印模板单元，其特征在于：每个待拼接的纳米压印模板单元上均设置有若干个第一对位标记；相应地，所述压印基板上设置有依次邻接的多个对位区域，每个对位区域对应一个所述待拼接的纳米压印模板单元；每个对位区域中设置有用于与对应的待拼接的纳米压印模板单元上的第一对位标记一一对应的第二对位标记；其中，每个待拼接的纳米压印模板单元用于根据设置在待拼接的纳米压印模板单元上的第一对位标记以及设置在对应的对位区域中的第二对位标记贴附在所述压印基板上对应的对位区域，以形成由多个待拼接的纳米压印模板单元拼接得到的纳米压印模板。
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