[发明专利]电感耦合型等离子体分析仪和等离子体炬管检查方法有效
| 申请号： | 201610349923.7 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106198493B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 安田尚树 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种ICP分析仪100包括自激振荡射频电源单元120，用于向缠绕在等离子体炬管110周围的感应线圈111提供用于产生等离子体的射频电力。为了检查等离子体炬管110的类型，分析仪100还包括：频率测量部121，用于测量电源单元120的输出频率；存储部190，保存针对每种类型等离子体炬管的参考输出频率；以及炬管检查器132，用于确定由频率测量部121在点燃等离子体之后测量到的输出频率是否与参考输出频率中的任一参考输出频率一致，并用于对所述确定结果进行通知。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 分析 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种包括自激振荡电源单元的感应耦合型等离子体分析仪，所述自激振荡电源单元用于向缠绕在等离子体焰炬周围的感应线圈提供用于产生等离子体的射频电力，所述分析仪包括：a)频率测量部，用于测量所述电源单元的输出频率；b)存储部，保存针对每种类型的等离子体焰炬的参考输出频率；以及c)焰炬检查器，用于确定在点燃所述等离子体之后由频率测量部测量到的输出频率是否与保存在所述存储部中的所述参考输出频率中的任一参考输出频率一致，并用于对确定结果进行通知。
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