[发明专利]放电离子化检测器

摘要

本发明涉及一种放电离子化检测器。为了抑制除源自于杂质的离子化的基线电流以外的基线电流、并且实现检测信号的SN比的提高和检测下限的改善，使用于收集源自于试样成分的离子的偏置电极(12)的内径小于隔开偏置电极(12)和收集电极(14)的绝缘构件(13)的内径。从通过介质阻挡放电形成的等离子体所发出的光被偏置电极(12)遮挡，使得该光没有直接照射到绝缘构件(13)的表面上。因此，在绝缘构件(13)的表面上没有发生通过照射能量高的光所引起的光电效果，由此可以防止该表面的电阻抗的下降。结果，抑制了偏置电极(12)和收集电极(14)之间的漏电流，由此可以减少检测信号中的基线电流。

主权项

一种放电离子化检测器，其包括：等离子体生成器，用于使得在预定气体流动的气体通路中产生放电，以通过所述放电从所述气体生成等离子体；试样气体注入器，用于将试样气体引入所述气体通路中相对于所述等离子体的生成区域的气体下游侧；以及离子检测器，其包括配置在所述气体通路中相对于所述等离子体的生成区域的气体下游侧并被绝缘构件分开的一对电极，所述一对电极用于收集利用从所述等离子体发出的光而从所述试样气体中的试样成分所生成的离子，所述放电离子化检测器的特征在于还包括：遮光部，用于防止从所述等离子体发出的光照射到所述绝缘构件的面向所述气体通路的整个表面或所述表面中的所述一对电极之间的由于光电效果所引起的电流能够流动的区域上。