[发明专利]加工装置

摘要

提供加工装置，能够使被加工物沿着构成暂放构件的支承轨不摇动地顺畅移动。暂放构件具有：第1支承轨，其在搬出/搬入构件所进行的被加工物的搬出/搬入方向上以能够滑动的方式引导被加工物；第2支承轨，其与第1支承轨对置配设并以能够滑动的方式引导被加工物；支承轨动作构件，其使第1、第2支承轨向互相接近和远离的方向进行动作；以及载荷检测构件，其检测支承轨动作构件的载荷。控制器被输入在使支承轨动作构件进行动作而使第1、第2支承轨互相接近而夹持被加工物时来自载荷检测构件的载荷信号，若来自载荷检测构件的载荷值达到规定值，则使支承轨动作构件进行动作以使第1、第2支承轨向互相远离规定量的方向进行动作。

主权项

1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工构件，其对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行加工；盒载置构件，其对收纳了多个被加工物的盒进行载置；搬出/搬入构件，其将被加工物相对于该盒载置构件所载置的盒进行搬出和搬入；暂放构件，其对由该搬出/搬入构件搬出的被加工物进行暂放；被加工物搬送构件，其将该暂放构件所暂放的被加工物搬送到卡盘工作台上；以及控制器，该暂放构件具有：第1支承轨，其在该搬出/搬入构件所进行的被加工物的搬出/搬入方向上对被加工物以能够滑动的方式进行引导，该第1支承轨具有第1底壁和第1侧壁；第2支承轨，其与该第1支承轨对置配设并对被加工物以能够滑动的方式进行引导，该第2支承轨具有第2底壁和第2侧壁；支承轨动作构件，其使该第1支承轨和该第2支承轨向互相接近和远离的方向进行动作；以及载荷检测构件，其对该支承轨动作构件的载荷进行检测，该控制器被输入在使该支承轨动作构件进行动作而使该第1支承轨和该第2支承轨互相接近从而通过该第1侧壁和该第2侧壁对被加工物进行夹持时的来自该载荷检测构件的载荷信号，如果来自该载荷检测构件的载荷值达到了规定的值，则使该支承轨动作构件进行动作以使该第1支承轨和该第2支承轨向互相远离规定的量的方向进行动作，在该暂放构件的上侧配设有拍摄构件，该拍摄构件对该第1支承轨和该第2支承轨上所暂放的被加工物进行拍摄，当通过该搬出/搬入构件将进行了加工的被加工物收纳到该盒载置构件所载置的盒中时，该拍摄构件对沿着该第1支承轨和该第2支承轨移动的被加工物的加工状态进行拍摄。