[发明专利]改进的太阳能电池片的扩散工艺

摘要

本发明提供了一种改进的太阳能电池片的扩散工艺，属于太阳能电池技术领域。它解决了现有技术中的一步扩散法的太阳能电池的转换效率普遍偏低等技术问题。本改进的太阳能电池片的扩散工艺，该工艺包括以下步骤A、低温沉积；B、变温沉积；C、高温沉积；D、升温；E、高温推结；F、冷却。利用本扩散工艺制作出来的太阳能电池片具有封装损耗低、太阳能电池片转化率高的优点。

主权项

改进的太阳能电池片的扩散工艺，该工艺包括以下步骤：A、低温沉积：将本体置入普通的扩散炉中，扩散炉中温度在800℃保持10分钟，在该时间范围内向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为15:1，小氮和大氮与氧气两者混合气体的体积比为10:100；步骤A中小氮流量为2L/min，氧气的流量为0.6L/min，大氮的流量为7L/min；B、变温沉积：将扩散炉内的温度在9分钟内提升至825℃，在该时间范围内向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为15:1，小氮和大氮与氧气两者混合气体的体积比为12:100；步骤B中小氮流量为2.5L/min，氧气的流量为0.6L/min，大氮的流量为7L/min；C、高温沉积：在825℃进行5分钟的保温，这个过程中向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体，大氮与氧气体积比为15:1，小氮和大氮与氧气两者混合气体的体积比为11:100；步骤C中小氮流量为2.2L/min，氧气的流量为0.6L/min，大氮的流量为7L/min；D、升温：将12分钟内将扩散炉内的温度升至835℃，升温过程中向扩散炉内通入大氮；E、高温推结：待扩散炉内在835℃温度时稳定后，在12分钟内向扩散炉内通入大氮和氧气的混合气体，氧气占混合气体体积的36％；F、冷却：在15分钟内将扩散炉内的温度降至790℃，这个过程中向扩散炉内通入大氮、氧气的混合气体，氧气占混合气体体积的36％。